스마트폰, 노트북, 자동차에도 필수적으로 들어가는 부품이 있다. 바로 '반도체'다.
우리나라는 반도체 산업을 주력으로 삼고 있다.
2020년 기준 한국의 글로벌 반도체 시장점유율은 18.4%로 전체 1위를 차지한 미국을 이어 두번째로 점유율이 높다. 이중 메모리 반도체는 국내 기업이 60% 이상의 시장 점유율을 차지하고 있을 정도로 반도체 산업에서 중요한 역할을 하고 있다.
반도체는 디지털화 되는 시장에서 중요한 역할을 하고 있고 우리나라의 주력 사업인 만큼 경제적 중요도도 높다.
다만 반도체 산업에서 발생하는 온실가스 배출이 이런 이유로 쉽게 규정을 변경하거나 새로운 규정을 만들기 어렵다.
반도체 공장을 가동할 때는 단순히 전력 사용과 생산 과정에서 발생하는 온실가스만 배출되지 않는다. 초미세 공정에서 사용되는 불소 화합물이 공기 중으로 배출되기 때문이다.
또한 식각, 증착, 세정 등의 과정에서 불소 화합물이 사용되며 명확하게 온실가스 배출량을 측정할 수 없다는 점도 규정을 만드는 데 장애물이 된다.
해당 과정에서 사용되는 수소불화탄소(HFCs), 과불화탄소(PFCs), 육불화황(SF6), 삼불화질소(NF3) 등은 온실가스 배출원의 일종이다. 반도체 제작 과정에서는이런 물질들이 기화되어 사용되는데 이때 발생하는 유해 가스는 분자 구조에 따라 분해가 복잡해진다.
이때문에 반도체 산업에서는 온실가스 배출 저감을 위해 대체 가스를 사용하는 움직임을 보이고 있지만 아직까지 정확한 대체 효과가 알려진 바는 없다.
이와함께 온실가스 배출을 줄이기 위해 도입하고 있는 것이 저감 장치다.
반도체 산업에서 저감장치의 역할을 하는 스크러버는 대다수가 플라스마 방식으로, 불화 가스를 플라스마화해 낮은 온도에서 높은 효율의 불소 화합물을 제거한다.
크기가 작고 효율성이 높다는 장점이 있으나 대량 처리가 어려워 비교적 많은 양의 설치가 필요하며 주로 옥상에 설치되기 때문에 일부 경우에는 제한적이기도 하다.
설치 방식에 제한 요소가 많은 만큼 상황에 따라 저감 장치를 설치하지 못하는 업체들도 다수다. 설치를 하거나 대체 가스 등 다른 방식을 활용한다 해도 정확한 온실가스 배출량과 감축량을 측정할 수 없다는 점도 온실가스 저감을 방해하는 요소다.
주요 산업이자 중심 산업인 반도체의 온실가스 배출 저감을 위해 최근 환경부 산하 국립과학원은 반도체 및 디스플레이 업종의 주요 온실가스 배출량 및 감축량을 정확하게 산정할 수 있도록 개정한 온실가스공정시험기준을 공개했다.
국립과학원은 반도체를 포함해 디스플레이 업종에서 배출되는 온실가스 농도를 적외선흡수분광법으로 측정해 감축 활동에 대한 정량평가가 가능해졌다고 밝혔다.
주목할 점은 감축시설의 저감 효율 측정 외에도 공정 과정에서 사용되는 육불화황 등의 사용 비율 평가와 부생 가스 측정도 가능하다는 점이다.
유명수 국립환경과학원 기후대기연구부장은 "이번 개정은 반도체와 디스플레이 업종에 제한되는 것이 아니라 온실가스 감축에 대한 선도적 역할을 수행하는 것"이라며 "탄소중립 노력에 대한 정량평가 기준 수립에도 의의가 있다"고 말했다.
[데일리e뉴스= 오현주 기자]
